1．先把讀數(shù)顯微鏡進行調(diào)零（注意要輕輕旋轉(zhuǎn)旋鈕，因為讀數(shù)顯微鏡是高精度儀器且成本高，用力 過大會導致精度降低）；
2．然后將打上壓痕的元件置于水平工作臺面上；
3．把讀數(shù)顯微鏡置于元件上（當顯微鏡與工件置于一起時，手不要抖動，因為顯微鏡與工件的結合不是很緊固，稍不注意會造成讀數(shù)誤差），把透光孔對向光亮處；
4．通過旋轉(zhuǎn)螺母，使標線沿X軸左右移動；
5．標線與壓痕的兩側分別相切，此時標線走過的距離即為壓痕直徑；
6．把工件旋轉(zhuǎn)90°，再測量一次（但由于壓痕通常為不規(guī)則形狀，故要把工件旋轉(zhuǎn)90°，再測量一次取平均值），取兩次結果的平均值，即得到孔的*終直徑。
7．記下讀數(shù)后，把顯微鏡歸零后收放到指定位置。