掃描電子顯微鏡，英文縮寫SEM，簡稱掃描電鏡，是利用聚焦很窄的高能電子束對樣品表面進行掃描來呈現(xiàn)物質微觀形貌表征的儀器，可以單獨使用，也可以與其他分析儀器結合使用，是研究材料三維表層構造的的重要工具。
與其他顯微鏡相比，掃描電子顯微鏡的主要優(yōu)點包括分辨率高、圖像立體感強、放大倍數(shù)范圍大、景深大、視場大等。
各類顯微鏡性能的比較
比較項目 | OM | SEM | TEM | |
放大倍數(shù) | 1-2000 | 5-200000 | 100-80000 | |
分辨率 | 可以達到 | 0.1μm | 0.8nm | 0.2 nm |
熟練操作 | 0.2μm | 6 nm | 1 nm | |
一般操作 | 5μm | 10-50 nm | 10 nm | |
焦深 | 差，例如1μm（×100） | 高，例如100μm（×100） | 中等，例如比SEM小10倍 | |
視場 | 中 | 大 | 小 | |
操作維修 | 方便，簡便 | 較方便，簡單 | 較復雜 | |
試樣制備 | 金相表面技術 | 任何表面均可 | 薄膜或復膜技術 | |
價格 | 低 | 高 | 高 | |
資料來源：公開資料
掃描電子顯微鏡類型多樣，根據(jù)電子槍種類可分為場致發(fā)射電子槍、鎢槍、六硼化鑭/六硼化鈰槍三種。
掃描電子顯微鏡主要類別
種類 | 原理 | 優(yōu)點 | 缺點 |
場致發(fā)射電子槍 | 利用場致發(fā)射效應產(chǎn)生電子 | 具有至少1000小時以上的壽命，且不需要電磁透鏡系統(tǒng) | 在十萬美元以上，且需要小于10-10torr的很高真空 |
鎢槍 | 利用熱發(fā)射效應產(chǎn)生電子 | 價格便宜 | 壽命在30-100小時之間，成像不如其他兩種明亮 |
六硼化鑭/六硼化鈰槍 | 壽命介于場致發(fā)射電子槍與鎢槍之間為200-1500小時，價格約為鎢槍的十倍，圖像比鎢槍明亮5-10倍，需要略高于鎢槍真空，一般在10-7 torr以上 | ||
資料來源：公開資料
掃描式電子顯微鏡行業(yè)上游主要包括電子元器件、光學儀器產(chǎn)品及其他配件。掃描式電子顯微鏡主要應用于主要用于紡織、化工、印染、儀器儀表、材料分析、教學科研等許多領域。
掃描式電子顯微鏡行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈
資料來源：公開資料
近些年，我國經(jīng)濟實力及現(xiàn)代化水平實現(xiàn)了很大躍升，為掃描式電子顯微鏡的快速普及提供了良好的基礎。2014-2020年我國掃描式電子顯微鏡行業(yè)市場規(guī)模保持增長態(tài)勢，從8.33億元增至10.48億元，年復合增長率約4%。
2014-2020年中國掃描式電子顯微鏡行業(yè)市場規(guī)模
數(shù)據(jù)來源：公開資料
從消費結構來看，2020年我國掃描式電子顯微鏡產(chǎn)品消費市場集中在材料、化工領域以及生物、醫(yī)學領域，占比分別達40.8%、33.5%。
2020年中國掃描式電子顯微鏡產(chǎn)品消費結構
數(shù)據(jù)來源：公開資料（TC）
文章來源：官研報告網(wǎng)
原文章鏈接：https://market.chinabaogao.com/jixie/0510541N22021.html
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